该装置包括：多层基板固定器安装室(MSSHR)，其安装有用于真空的薄膜蒸镀的多个基板；多层基板固定器(MSSH)，其由各自固定从上述多层基板固定器安装室安装的上述基板的多个...
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多层基板固定器安装室
Multilayer substrate retainer mounting chamber
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