另一方面，在这种蚀刻装置中，在供给上部电极的等离子体生成用的高频电力的功率小的情况下，在蚀刻结束后，堆积物(deposit)会附着在上部电极上，有可能导致处理特性变化或产生颗粒。
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... accomplished adj. 完成的；熟练的，有技巧的；有修养的；有学问的 accumulation n. 积聚，累积；堆积物 acute j. 严重的，[医] 急性的；敏锐的；激烈的；尖声的 ...
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Further research on Liulin Section reveals the relation between red clay and fluvial accumulation. Togeteh with other researcher’s results,the conclusion can be drawn:fluvial deposits wedge red clay base like an asymmetric wedge.
柳林新近纪地层剖面揭示了剖面尺度上红粘土与水成堆积物的关系,结合前人研究结果认为区域上吕梁山山前的水成堆积物呈楔状“侵入”于红粘土的中下部。
参考来源 - 吕梁山及邻区新生代构造—沉积演化·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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