1.21固有空间线性(UFOV)：微分≤0.1mm 1.22固有空间线性(UFOV)：积分≤0.5mm
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1.20固有空间线性(CFOV)：积分≤0.5mm 1.21固有空间线性(UFOV)：微分≤0.1mm
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固有空间线性
Inherent space linearity
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