以现今之金属化制程而言:举凡Ti、TiN、TiW等所谓的「反扩散层(barrier layer)，或是「黏合层(glue layer);Al之栓塞(plug)及导线连接(inter connect)，以及高温金属如WSi、W、Co等，都可使用物理气相沈积法...
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扩散反应层 diffusion interaction layer
反扩散层
Back diffusion layer
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天然双层软土地基上的硬壳层具有应力扩散、反压护道、沉降滞后和封闭作用等特征。
The hard shell course on soft clay foundation has such characters as stress distribution, back berm, lagging behind of settlement and closed action.
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