...滤精度：5μ 系统油液清洁度优于NAS 5级AGC系统主要功能 前馈AGC（FEEDFORWARDAGC） 反馈AGC（FEEDBACKAGC） 压力AGC（BISRAAGC） AGC系统主要技术参数： 压下位置闭环设定精度：±0.001mm 压下位置闭环分辨率：±0.0015mm 压下位置闭环响应：优于30ms/0.1mm阶跃...
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