micro electronmechanical system
什么是薄膜型热式流量计，它诞生与什么年代-知识问答 量计的流量传感器常称作微流量传感器(micro flow sensor)，是电子器件的显微机械加工，即微机电系统(micro electro mechanical system， MEMS)在流量测量上的应用。 硅技术流量传感器的开发始于20世纪70年代中期，80年代出现了热膜原理的微机械
基于11个网页-相关网页
...感器常称作微流量传感器(micro flow sensor)，是电子器件的显微机械加工，即微机电系统(micro electro mechanical system， MEMS)在流量测量上的应用。
基于2个网页-相关网页