目 前高数值孔径 ( high NA )与短波长(达DUV范围)的步进机，已经可以将线宽推进至100奈米以下尺寸；但伴随而来的问题，则是挑战在100nm线宽下的对准极限(3σ...
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前高数值孔径
Front high numerical aperture
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