(1011447-0116-0054) 具有硅-锗(Sii-x-Gex)门极MOS晶体管的集成CMOS电路的半导体装置及其生产方法
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具有硅-锗
Has silicon-germanium
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结果表明，硅锗合金热导率具有明显的尺寸效应，显著小于大体积晶体的实验值；
The results of calculations demonstrated that the thermal conductivities of Si-Ge alloy. is remarkably lower than the corresponding bulk experimental data and show obvious size effect;
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