...体器件的层间介质层的沉积工序中,包括以下步骤:向沉积反应腔内通入初始氧气;向沉积反应腔内通入初始八甲基环化四硅氧烷(OMCTS);开启功率电源,进行黑金刚石(BD)层..
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八甲基环化四硅氧烷
octamethylcyclotetrasiloxane
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