本发明的负型光阻剂主要是由高分子树脂(Resin)、感光起始剂(Photoinitiator)、单体(Monomer)、溶剂(Solvent)所组成；亦可配合加入颜料(Pigment)、添加剂(Additives)，而获致一种尤适合搭配刮刀式涂布法(Sli...
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光起始剂
photoinitiator
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