【光化学气相沉积】

光化学气相沉积

[物化] Photo-CVD

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[物化] photo chemical vapor deposition

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短语

激光化学气相沉积 LCVD ; Laser cvD ; Laser Chemical Vapor Deposition ; Laser Chemical Vapor Deposition-LCVD

激光诱导化学气相沉积 LICVD ; LCVD ; laser induced chemical vapor

激光热化学气相沉积 laser thermal chemical vapor deposition

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化学

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本文报道了CO_2激光化学气相沉积非晶硅的实验研究。

Experimental results on amorphous silicon growth by CO2 laser chemical vapor deposition are reported.

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