...氧化层(Gate Oxide)的厚度，已大幅下降，因此尚要考量洗净后，晶圆表面的微粗糙度(Micro-roughness)，及俱生氧化物(Native Oxide)之清除，以达到半导体组件(Device)超薄门极氧化层(Ultra-Thin Gate Oxide)的电性参数及特性(Electrical Parameters and Characte...
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俱生氧化物
co-oxide
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