用低压反应离子镀(RLVIP)的方法在Ge基底上制备了Ge1-xCx单层非均匀增透薄膜。
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Reactive low voltage ion plating
...膜 低压反应离子镀 方块电阻 减反射膜 [gap=796]Key words:ITO transparent conductive film; Reactive low voltage ion plating; Sheet Resistance; Antireflective film ..
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low voltage reactive ion plating
低压反应离子镀
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