这些工具旨在用来开发逻辑领域的两个主要的闸极堆叠阵营:取代闸极(replacement gate)和前闸极(gate first)。据报道,Intel公司正在开发45nm节点的取代闸极技术,而IBM公司成为竞争的前闸极方案的支持者。
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代闸极
Gate substitute
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