中子嬗变掺杂硅单晶 neutral transmutation
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主要介绍探测器级特高阻区熔硅单晶的高精度微量中子嬗变掺杂技术。
The technique of high precision trace neutron transmutation doping of detector grade high resistance zone-refined Si mono-crystal is introduced.
youdao
中子嬗变掺杂(NTD)是采用中子辐照的办法来对材料进行掺杂的一种技术,其最大优点就是掺入的杂质浓度分布非常均匀。掺杂剂的完全均匀分布,且在掺杂剂浓度的最大值和最小值之间不存在任何差异,可望获得最佳的器件性能。此外,良好的掺杂重复性对于制造高能设备中的高压器件也非常重要,这些高能设备中需要大量使用具有相同性能的器件。
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