浅析浅析可知:微晶玻璃(Zerodur)是微动台基板的最佳,石英陶瓷和ULE效果也不错。光刻机微动台基板,了基于正交试验和ANSYS拓扑浅析浅析的结构优化设计。
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玻璃陶瓷 ( Zerodur )作为一种新型的理想材料， 目前已在各种空间望远镜上得到广泛应用。
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2.2 轻质反射镜常用材料 目前常见的用作空间反射镜的材料主要有微晶 玻璃(Zerodur)和碳化硅fSiC1.表1 列出了两种材 料的性能参数.
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新的玻璃和玻璃陶瓷光栅载体材料（ZERODUR?, ROBAX?）的采用大大地拓展了这款光栅尺的应用领域。
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