... wafer handling module 晶片传送组件 wafer identification 晶片识别 wafer inspection microscope 晶片检查显微镜 ...
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We use multiresolution recognition in order to meet the requirement of wafer identification’timelessness and small size wafer’s matching precision, that is, rough-fine identification method.
为了满足晶片识别定位的实时性和小尺寸晶片的加工精度,采用多分辨率识别,即粗精结合的识别方法。
参考来源 - LED自动固晶机视觉定位系统的图像处理研究·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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