... wafer hoist晶圆交接升降装置 wafer holder晶圆保持器 wafer ID晶圆识别记号 ...
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准/规范中文名: 晶片承载器 标准/规范英文名: Wafer holder 标准状态: 现行 原文语种: 中文 译文语种: 英文 原文页数: 11页 中文字数: 8162字 标准分类: 电子行业标准(SJ) 中标分类1:
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Working machines and wafer holder clamps are corrosion-resistant box, with a special matte electrochemical treatment of stainless steel.
工作机器支架及硅片盒夹具均采用耐腐蚀、经特殊亚光电化学处理的不锈钢材料。
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