紫外光退火(UV Annealing)技术之应用 特性分析 本文利用PVD制程将 靶材材料经由离子轰 击后沉膜在玻璃基板 上，研究IZO薄膜的电 阻率，实际应用上， 因为I...
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uv annealing
紫外线退火
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After high temperature annealing in oxygen the crystallinity of obtained films is improved, the violet emission become weak and the UV emission gets strong.
在氧气中高温退火后，薄膜结晶质量明显提高，紫光发射强度变弱，紫外光发射相对增强。
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