...iCOH低k薄膜，人们采用三甲基硅烷、八甲基环四硅氧 烷（D4）、十甲基环五硅氧烷（DMCPS）、四乙烯基四甲基环四硅氧烷（TvTMCTS） 等多种有机硅作为源开展了SiCOH低k薄膜的沉积研究，并分析了薄膜结构与性能 间的关联。
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