...，其他外延层的生长仍然以NH3作为氮源；以三甲基镓(TMGa)或三乙基镓(TEGa)作为Ga源；以三甲基铟(TMIn)作为In源；以三甲基铝(TMAl)作为Al源；以硅烷(SiH4)作为n型掺杂源；以二茂镁(Cp2Mg)作为p型掺杂源；以氢气(H2)或氮气(N2)作为载气。
基于424个网页-相关网页
故障温度（Tmal）：系统超出节制极限时呈现的最高温度。
基于32个网页-相关网页
其中，衬底为（0001）面的蓝宝石，氨气（NH，）、三甲 基铝（TMAl）分别为N源、Al源，氢气（H：）是载气。
基于8个网页-相关网页