[技术摘要] 一种蚀刻溶液，其对热氧化膜(THOX)和硼磷玻璃膜(BPSG)的蚀刻速率在25℃为100埃/分钟或略低，蚀刻速率的比值：BPSG的蚀刻速率/THOX的蚀刻速率的值为1.5或更小。
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一种蚀刻溶液，其对热氧化物膜(THOX)和磷硅酸硼玻璃膜 (BPSG)的蚀刻速率在25℃为100埃/分钟或略低，蚀刻速率的比值：
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