...雷采酉超 25 石英基材之奈米加工技术及其在压印上的应用 1999)，称为「步进快闪式压印微影(Step and Flash Imprint Lithography，SFIL)，其与 Chou 等人 (1995)之热压型奈米压印微影技术之最大不同处 在于：SFIL涂布于基材...
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...hy,SIL),一类是热压印技术(hot-embossing lithography,HEL),还有一类是步进—闪光压印技术(step and flash imprint lithography,S-FIL)。其中热压印技术是发明最早、研究最为充分的主流压印技术。
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...t;> 使用道具 收藏本文 [公告] 步进-闪光纳米压印技术的十年 步进闪光 纳米压印(Step and Flash Imprint Lithography，SFIL)是一种低成本、 高分辨率的光刻替代 技术。
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