... spin webbing：旋转带，在旋转过程中在下表面形成的细丝状的剩余物。 sputter etch：溅射刻蚀，从离子轰击产生的表面除去薄膜。 stacking fault：堆垛层错，原子普通堆积规律的背离产生的2次空间错误。 ...
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sputter etch process 溅镀蚀刻过程
argon sputter-etch process 氩气溅镀蚀刻过程
sputter etch
溅射腐蚀
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