硅伪异质结双极晶体管(HBT)与超过100的电流增益,在77 K已成功制作中,使用自对准侧壁基 接触结构 ( SICOS )的向上操作。
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本文参考的宽度之间的基极多晶硅,单晶硅,这是一个特征性的结构参数用于侧壁的基极接触的结构(SICOS)的侧壁接触。此外,其效果对晶体管特性和ECL电路的特性进行检测。
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