作 者 吴平生 ( Ping-Sheng Wu );郝胜智(Sheng-Zhi Hao);李旻才(Min-Cai Li);宋振飞(Zhen-Fei Song);董闯(Chuang Dong) 刊 名 真空科学与技术学报
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sheng-zhi hao
sheng-zhi郝
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