... 局部退火local annealing 局部退火selective annealing 局部氧化针孔localized oxidized pinholes ...
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... selective area laser deposition气相沉积成型 selective annealing选择退火、局部退火 selective attack选择性腐蚀 ...
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We have explored technologies for the fabrication of VCSELs, such as wet etching, wet and selective oxidation and annealing.
对垂直腔面发射激光器的湿法腐蚀技术、选择氧化工艺、合金工艺等关键工艺进行了研究，得到了最佳工艺条件。
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