6-3-5 电子束微影镂空式图规(Open-Stencil)与散射式图罩(Scattering Mask) 6-3-6 离子束微影图罩与图规
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scattering mask
散射的面具
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Mask fabrication is a key technique of scattering with angular limitation projection electron-beam lithography (SCALPEL).
掩模制作是电子束散射角限制投影光刻(SCALPEL)的关键技术。
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