1)扫描投影曝光（Scanning Project Printing）。20世纪70年代末~80年代初，大于1 ht,m工艺，掩膜版1：1，全尺寸，标有Perkin- Elmer（Micralign系列光刻机）属于扫描投影光刻机...
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Scanning-Stepping Project Printing 扫描步进投影曝光
scanning project printing
扫描项目打印
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