研究了多晶硅薄膜的制备方法，低温下快速光热退火(RPTA)和高温下陶瓷衬底上快热化学气相沉积(RTCVD)，硅膜的生长及区熔再结晶(ZMR)，用高温方式在陶瓷衬底上做了太阳电池的尝试，在高温...
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