MnO,薄膜的制备方法上主 要采用射频磁控溅射(RFMS)、脉冲激光沉积(PLD)、分子束外延(MBE)、溶胶一 凝胶法(Sol—Gel),也有报道采用化学溶液沉积法(CSD),如印度理工研究所...
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...单斜(40-2)晶面占主导。排除了等离子体不均匀性对薄膜晶相的影响并明确了低氧分压是产生单斜相的原因。利用射频磁控溅射法(RFMS),研究了氧气流量、温度和偏压对于薄膜的协同影响规律。与直流磁控溅射不同,射频磁控溅射的滞后现象并不明显。
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RFMS Remote File Management System 远程文档管理系统
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