射频化学气相沉积(Radiofrequency Chemical Vapor Deposition)
...石碳膜（DLC）组成的多层复合膜可在Si、玻璃和其它衬底上通过真空升华沉积和随后以CH4和H2作为反应剂用射频化学气相沉积（RFCVD）的方法制备，这种膜的若干特征可由拉曼谱（Raman)表征。
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...石碳膜（DLC）组成的多层复合膜可在Si、玻璃和其它衬底上通过真空升华沉积和随后以CH4和H2作为反应剂用射频化学气相沉积（RFCVD）的方法制备，这种膜的若干特征可由拉曼谱（Raman)表征。
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