无论是第一步骤，还是第二步骤，由于惰性气体离子能够在相应的惰性气体离子注入区内形成一个个复合中心(recombinationcenter)，当多余的载流子经过所述惰性气体离子注入区时，多余的载流子会因为被这些复合中心消耗(consume)而被去除。
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