本文的研究结果表明多晶硅纳米薄膜(PSNF)具有更为优越的压阻特性,有着广阔的应用前景。然而,PSNF的压阻特性目前还没有引起国内外研究者的重视,这方面的基础研究近于空白。
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PSNF pressure sensor 多晶硅纳米薄膜压力传感器
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