...法（VAD）、改进的化学汽相沉 积法（MCVD）、等离予体激活化学汽相沉积法（PCVD）、等离予体激活改良的化学汽 相沉积法（PMCVD）和轴向加横向等离子体激活化学汽相沉积法（ALPD）等6种。
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