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plasma ashing

  • 等离子体灰化：一种用于去除材料表面有机物的过程，通过使用等离子体产生的高能离子和自由基来氧化有机物。

网络释义专业释义英英释义

短语

resist plasma ashing system 等离子体抗蚀剂灰化系统

Plasma Ashing Low-k Films 等离子体灰化低介电材料

Film Damage by Ashing Plasma 等离子体引起的低介电薄膜损伤

  • 等离子灰化

·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress

Plasma ashing

  • abstract: In semiconductor manufacturing plasma ashing is the process of removing the photoresist from an etched wafer. Using a plasma source, a monatomic reactive species is generated.

以上来源于: WordNet

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- 来自原声例句
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