采用等离子体浸没离子注入与沉积技术(PIIID),在T225NG钛合金基材上制备了TiN/Ti复合涂层。对沉积涂层的组织和化学成分作了XPS和AES分析,用扫描电镜SEM、能谱仪 .
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Titanium nitride(TiN) hard protective films were fabricated on AISI52100 bearing steel surface employing plasma immersion ion implantation and deposition(PIIID) technique.
用等离子体浸没离子注入与沉积（PIIID）复合强化新技术在AISI52100轴承钢基体表面成功合成了硬而耐磨的氮化钛薄膜。
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