...量-晶圆局部温度之正确量测正确量测温度之困难度-热电偶温度量测须时间(response time)-光学式的辐射测温仪(optical pyrometers)不准确 高压氧化炉化学反应速率-温度高， 反应快-气体压力高、 浓度高、 反应快但高温造成-晶圆内之差排成长高压炉不锈钢外套防止...
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同义词： pyroscope
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The six — wavelengths pyrometers with six interference filters for effective wavelength defined and with optical fibers for beam split were developed by the U. S. and CEC scientists inl980's.
八十年代以来，美国及欧共体研制成采用干涉滤光片限定工作波长及带宽的六波长高温计，而分光采用光导纤维。
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