系统的研究比较增加了低压有机金属气相外延(OMVPE)使用三乙基铟,磷化氢和tertiarybutylphosphine的的源(TBP)的InP外延层的质量。
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... 第十章 金属的相变化 Phase Transformations in Metals 使用有机金属汽相磊晶 OMVPE 有机金属气相磊晶 MOVPE ...
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...从事生产以砷化镓(Galliumarsenide)与磷化铟(Indiumphosphide)为基板的Ⅲ-Ⅴ族材料化合物之磊晶片。经由有机金属汽相磊晶(OMVPE)技术制造的各种磊晶片产品,经后段芯片制程与封装后,广泛应用于光纤通信、消费性产品以及工业用途,并行销于全球。
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