诺发系统(Novellus System)在SPEE Max高密度电浆化学气相沉积间隙充填Gapfill平台上研发了次45奈米之反应室内沉积清洗一体程序,大大降低缺陷密度和无法控制...
基于18个网页-相关网页
novellus system
材料系统
以上为机器翻译结果,长、整句建议使用 人工翻译 。
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动