...原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM) 、侧向力显微镜(Lateral Force Microscope, LFM) 、奈米压痕试验机 (Nano-Indentor)、电化学原子力显微镜(EC-AFM)，其详细规格如附件一所示。
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Nanoindentor is a modern instrument, which can provide a precise control and accurate measurement of indentation depth.
纳米压入仪是一种可以精确控制及测量压入深度的高精度仪器。
参考来源 - 对几种薄膜硬度测试方法的评定·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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