...)谱是研究氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜中氢含量(C_H)及硅-氢键合模式(Si-H_n)最有效的手段,对于微波等离子体化学气相沉积(MWECR CVD)方法在不同H_2/SiH_4稀释比下制备出的氢化非晶硅薄膜,我们通过红外透射光谱的基线拟合、高斯拟合分析,得出了薄膜中的氢含量,...
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MWECR-CVD 微波电子回旋共振等离子体CVD ; 微波电子回旋共振化学气相沉积
HW-MWECR-CVD 微波电子回旋共振化学气相沉积
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