含硅的典型气体例如可以是含硅烷的气体，诸如甲硅烷(monosilane)(SiH4)等。
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... methyl acetate 乙酸甲酯,或醋酸甲酯 monosilane 单硅烷 nitrilo 氮基 ...
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monosilane e 甲硅烷
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