...以把原来对整个洁净室的要求，缩小到只对晶片盒局部环境的要求，采用这种国际上被称为微环境技术（Mini-environment Technology）新的洁净工艺流程，国际上在九十年代经过实践已经成功地用于集成电路工业化大生产。
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mini-environment technology
迷你环境技术
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