目前为止，其主要的制作工艺手段包括基于MEMs的工艺 和基于 显微机械加工 （ Micromachining ）的工艺。 文献【26】提出了一种新颖的基于MEMs工艺的光纤法布里一珀罗压力传感器，它利 用砌巳Ms技术将微型结构直接制作在光纤...
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bulk micromachining 微加工 ; 加工技术 ; 体微加工
Surface Micromachining 加工技术 ; 面微加工 ; 面型微加工技术
laser micromachining 激光微型工
silicon micromachining 微加工技术 ; 微加工 ; 微机械加工
Micromachining technology 微机械技术 ; 加工技术
Excimer Laser Micromachining 准分子雷射微细加工机
Micromachining Technologies 加工技术
electron-beam micromachining 电子束微加工
Mechanism, characteristic and application of excimer laser micromachining are introduced.
介绍了准分子激光微加工的机理、特点和应用。
Handbook of Micro lithography, Micromachining, and Micro fabrication. Vol.1: microlithography.
微平版印术，显微机械加工，和微制作手册：卷一：微平版印术。
Using micromachining technology, we also integrated micro-heater and temperature sensor on the chip.
利用微加工技术，我们还将微加热器和温度传感器集成到本芯片上。
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