Thin-film Micro-mirror array 薄膜微镜阵列
deformable micro-mirror array 变形微反射镜阵列
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Using the KOH anisotropy enchant the vertical micro mirror array is fabricated. And also, the result of experiment is analyzed and discussed.
使用KOH各向异性腐蚀液制作了垂直微反射镜阵列，并对实验结果进行了分析和讨论。
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