...值加速度计；介观压阻效应；量子阱薄膜；GaAs微结构 [gap=1020]Keywords: high g accelerometer; Meso-piezoresistance effect; Thin film of quantum well; GaAs microstructure ..
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In this thesis, we have designed and fabricated AlAs/InGaAs/GaAs double-barrier resonant tunneling thin films based on the theory of Meso-Piezoresistance Effect. The different dimensions of accelerometer have been design and analyzed by the software MATLAB.
本论文在“介观压阻效应”理论的基础上,设计并生长了AlAs/InGaAs/GaAs双势垒共振隧穿纳米薄膜结构;运用MATLAB软件对不同尺寸的加速度计结构进行了设计与分析;采用ANSYS9.0有限元分析软件对设计出的加速度计结构进行了仿真。
参考来源 - 介观压阻型加速度计的设计与性能测试Meso-piezoresistance effect meets the requirements of the development of micro-gyroscope.
介观压阻效应的提出就正好顺应了微陀螺发展的要求。
参考来源 - 基于介观压阻效应的GaAs基微机械陀螺的仿真与设计·2,447,543篇论文数据，部分数据来源于NoteExpress
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