在传感器技术里，气敏元件的制造工艺良多，但针对气体传感器的特性、材料，主要采用微电子机械技术(MEMT)。研制能够同时监测多种气体的全自动数字式的智能气体传感器将是该领域的重要研究方向。
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随着 20世纪90年代基于微米/纳米集成电路制作技术 的微电子机械加工技术(MEMT)及微电子机械系 统(MEMs)的出现，使具有体积小、重量轻、价格便 宜、可靠性高、能大量生产等优
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需要攻关的主要技术有: ( 1) 微机械加工技术( MEMT) 和纳米技术; ( 2) 新型敏感材料研制技术, 它又是微电子、光电子、生物化学、信息处理等各学科、各种新技术的互相渗 透和综合利用...
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