农业装备与车辆工程精选文章 关键词： 微机电系统；MEMS传感器；汽车；综述 [gap=876]Keywords： micro electro mechanical system； MEMS sensor； automotive； summarize
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如今工程师们设计的系统和产品中常常包含微机电系统感测器（MEMS sensor）等关键元件，特别是MEMS陀螺仪。但种类繁多的新一代应用对低功率、小尺寸、环境耐受性及低成本等提出了越来越高的要求。
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物联网主要构架是将会使用大量微控制器（Micro Controller Unit，MCU）与微机电感测器（MEMS Sensor），以及微型Wi-Fi芯片作为数十亿计的「物的控制与连接元件，这些「物的信号将会传送到背后数以千万计，具有高运算能力的服务器...
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integrated MEMS sensor 集成MEMS传感器
New type MEMS sensor 新型MEMS传感器
mems gas sensor mems气敏传感器
MEMS Motion Sensor 运动传感器
MEMS capacitor sensor 微电子机械系统电容传感器
MEMS micro force sensor MEMS微力传感器
novel MEMS microwave power sensor 新型MEMS微波功率传感器
mems pressure sensor 光纤mems压力传感器
MEMS capacitive sensor MEMS电容传感器
Stability: 6 DOF motion measurement and control, the use of high-performance MEMS sensor technology, impact resistance, low drift.
稳定：6自由度运动测控，采用高性能MEMS工艺传感器，抗冲击、低漂移。
OMRON is a strong player in MEMS sensor technology with over twenty years of research, development and manufacturing experience in the healthcare and industrial markets.
欧姆龙是一家实力雄厚的MEMS传感器技术研发公司，在医疗保健和工业市场积累了二十余年的研发和制造经验。
The paper mainly introduced a new MEMS sensor of oil exploration, characters of MEMS sensor structure, medium material and sealed form as well as already reached technical indexes.
本文主要介绍了一种新的石油勘探MEMS传感器的结构特点、介质材料以及封装方式，并详细地介绍了该产品的主要技术指标。
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