激光干涉仪通常采取Machelson(迈克尔逊)干涉仪形式,由于反射器的作用,直接接收的脉冲当量为A/2(约0.3μm),对于精密测量来说,显然是不够的。
基于12个网页-相关网页
1.2干涉测量原理及干涉测量的条件 1.2.1麦克尔逊(MachelSOn)干涉仪及测长原理 以激光波长为长度基准进行位移测量,通常只能采用干涉或衍射的 方法。
基于6个网页-相关网页
应用推荐
模块上移
模块下移
不移动